產品名稱：帶過渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀

項目

明細

產品型號

CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS

供電電源

220/110V, 50/60Hz

樣品臺

位置

下部，帶擋板

直徑尺寸

φ150mm

可調轉速

0-20rpm 可調

加熱溫度

RT~500^oC

真空腔體

腔體尺寸

φ325xH510mm

腔體材料

304 不銹鋼

內壁處理

電解拋光

密封方式

氟橡膠密封

觀察窗口

φ100mm（帶擋板）

磁控靶槍 

數量

3

擺頭角度

可調角度 -45~45 度

濺射方向

向下濺射

靶材平面

圓形平面靶

靶材直徑

2英寸

靶材厚度

*厚3mm

直流電源

數量

2臺

電源功率

0~500W

輸出電壓

0～600V

*大輸出電流

1A

啟動時間

1~10S

射頻電源

數量

1臺

電源功率

0~500W

射頻頻率

13.56MHz

匹配方式

自動匹配

反射功率

≦100W

功率穩定性

±0.1%

膜厚監測儀

通道數

單通道

測量精度

0.1 ?

測量速度

100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）

標準傳感器晶體

6MHz

適用晶片尺寸

Φ14mm

真空系統

前級泵

雙極旋片泵，抽速1.1L/s

渦輪分子泵

抽速600L/s

濺射真空

DC:0.3Pa  RF:3Pa

真空測量

復合真空計

過渡倉

腔體尺寸要適用于*大4英寸的晶圓

配備分子泵組：

前級泵：VRD-4，抽速1.1L/s

分子泵：日本TG60F，抽速60L/s

水冷機

冷卻水流速

10L/min

整機功率

0.1KW

冷卻功率

50W/℃

水箱容量

9L

氣體控制

1路質量流量計：Ar氣，范圍0-200sccm

控制系統

CYKY自研專業級控制系統